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应用领域 |
CVD系列真空气氛管式炉广泛适用于高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等；也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。 |
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主要特点 |
采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。可拆卸式的三面密封方式，具有良好的洁净度和真空度；耐火，保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低；加热元件采用U型硅钼(碳)棒或原装进口电阻丝；温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、重复性。 |
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技术指标 |
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设备型号 |
CVD（D）-06/60/3 |
CVD（Z）-06/30/1 |
CVD（G）-07/50/2 |
CVD（G）-09/50/1 |
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最高温度 |
1050℃ |
1300℃ |
1650℃/1000℃ |
1650℃ |
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使用温度 |
RT～1000℃ |
850～1250℃ |
1000～1600℃ |
1000～1600℃ |
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控制精度 |
±1.5℃ |
±1.5℃ |
±1.5℃ |
±1.5℃ |
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温区个数 |
3个 |
1个 |
2个 |
1个 |
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加热区长度 |
600mm |
300mm |
500mm(300mm/200mm) |
500mm |
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炉管尺寸 |
ф60（外径）×1400（mm） |
ф60（外径）×1000（mm） |
ф70（外径）×1450（mm） |
ф90（外径）×1450（mm） |
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炉管材料 |
石英管 |
刚玉管 |
刚玉管 |
刚玉管 |
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发热元件 |
进口电阻丝 |
电阻丝/硅碳棒 |
硅钼棒、电阻丝 |
硅钼棒 |
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最大装机功率 |
4.5KW |
3kw/8kw |
10kw |
12kw |
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CVD-□□□ 选件功能 |
/□ |
/□ |
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V |
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真空系列：单级机械泵+扩散泵机组 |
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Q |
气氛系统：浮子流量计；进口/国产质量流量计 |
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备注：以上设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2Pa接口条件；其他特殊工艺要求的订货时请说明。 |
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